公开(公告)号：CN1599235A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410079000.1

申请日：2004-09-17

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 川久保隆 ,  阿部和秀 ,  森塚真由美

IPC: H03B5/12

CPC classification number: H03H9/173 ,  H03B5/326 ,  H03B5/366 ,  H03H9/0542 ,  H03H2009/02204 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/43 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155

Abstract: 本发明提供包括薄膜BAW谐振器56和可变电容器元件30的压控振荡器。薄膜BAW谐振器56包含在Si衬底21上形成的固定部分22，在固定部分22上支持并且被布置成面对Si衬底21的下部电极24，在下部电极24上形成的第一压电薄膜25，和在第一压电薄膜25上形成的上部电极26。另一方面，可变电容器元件30包含在Si衬底31上形成的固定电极42，在Si衬底31上形成的固定部分38，在固定部分38上支持并且被布置成面对Si衬底31的第一电极33，在第一电极33上形成的第二压电薄膜34，和在第二压电薄膜34上形成的第二电极35。