公开(公告)号：CN100479195C

公开(公告)日：2009-04-15

申请号：CN200510119434.4

申请日：2005-11-11

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 大黑达也 ,  池桥民雄 ,  松尾美 ,  关根秀一

IPC: H01L29/84 ,  H01L41/08 ,  B81B7/02 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/173 ,  B81B3/0018 ,  G02B26/0858 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L27/20 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0946 ,  H01L41/0973 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/587 ,  H03H2003/027 ,  H03H2009/241

Abstract: 提供一种具有执行器的半导体装置，其中具有半导体基板；在上述半导体基板的上方设置空间进行配置，具有下部电极及上部电极和夹在这些下部电极及上部电极之间的压电体层，在上述下部电极、上述上部电极及上述压电体层之中至少上述压电体层的整个表面大致是平坦的执行器。