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公开(公告)号：CN105428274A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510567320.X
申请日：2015-09-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/67
CPC classification number: C02F1/4693 , B01D61/243 , B01D61/44 , B01D2311/25 , C02F2103/346 , C02F2209/02 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供处理装置及处理液的再利用方法。本实施方式的处理装置具备透析部、处理部和回收部。所述透析部对含有磷酸、硅化合物和水的溶液进行透析。所述处理部使用经所述透析的溶液进行被处理物的处理。所述回收部对在所述被处理物的处理中使用的溶液进行回收并供给至所述透析部。所述透析部具有使阴离子透过的透过部。所述回收部将在所述被处理物的处理中使用的溶液供给至通过所述透过部划分开的所述透析部内的区域。
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公开(公告)号：CN105428274B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201510567320.X
申请日：2015-09-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供处理装置及处理液的再利用方法。本实施方式的处理装置具备透析部、处理部和回收部。所述透析部对含有磷酸、硅化合物和水的溶液进行透析。所述处理部使用经所述透析的溶液进行被处理物的处理。所述回收部对在所述被处理物的处理中使用的溶液进行回收并供给至所述透析部。所述透析部具有使阴离子透过的透过部。所述回收部将在所述被处理物的处理中使用的溶液供给至通过所述透过部划分开的所述透析部内的区域。
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