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公开(公告)号：CN101533937A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200910126558.3
申请日：2009-03-12
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01P1/12
CPC classification number: H01P1/127 , H01H59/0009
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是提供一种可实现具有高Q值的可变电容部且可减少电路损耗的高频电子元件。其解决方案是作为高频电子元件的高频MEMS(1)具有：硅基板(2)；在硅基板(2)上彼此交叉地形成的高频信号线(5)和接地线(4)；以及电介质膜(8)，其在高频信号线(5)和接地线(4)的梁(8)交叉的部分，形成在高频信号线(5)和接地线(4)的至少一方上，且构成可变电容部(13)，该可变电容部(13)为，高频信号线(5)和接地线(4)能够沿接触分离方向相对移位地被支撑。
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公开(公告)号：CN101993030B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201010250691.2
申请日：2010-08-10
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 山崎宏明
CPC classification number: H01H59/0009 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明涉及微可动器件及微可动器件的制造方法。在抑制信号线与驱动线之间的寄生电容增大的同时，使驱动可动部的驱动电压降低。在信号线(13)上配置驱动电极(16a)，在接地线(14)上配置驱动电极(16b)，将辅助驱动电极(17a)与驱动电极(16a)并列配置，将辅助驱动电极(17b)与驱动电极(16b)并列配置，在驱动电极(16a、16b)及辅助驱动电极(17a、17b)上配置可动电极(19)。
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公开(公告)号：CN101043030A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710105311.4
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2059/0018 , H02N1/006
Abstract: 半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。
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公开(公告)号：CN102674231B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210068873.7
申请日：2012-03-15
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/016 , B81B2203/0163 , H01H59/0009
Abstract: 提供一种静电致动器，该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置，具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部，支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101993030A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010250691.2
申请日：2010-08-10
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 山崎宏明
CPC classification number: H01H59/0009 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明涉及微可动器件及微可动器件的制造方法。在抑制信号线与驱动线之间的寄生电容增大的同时，使驱动可动部的驱动电压降低。在信号线(13)上配置驱动电极(16a)，在接地线(14)上配置驱动电极(16b)，将辅助驱动电极(17a)与驱动电极(16a)并列配置，将辅助驱动电极(17b)与驱动电极(16b)并列配置，在驱动电极(16a、16b)及辅助驱动电极(17a、17b)上配置可动电极(19)。
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公开(公告)号：CN102185517B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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公开(公告)号：CN102674231A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210068873.7
申请日：2012-03-15
Applicant: 株式会社东芝
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/016 , B81B2203/0163 , H01H59/0009
Abstract: 提供一种静电致动器，该静电致动器具备基板、电极部、膜体部和施力部。上述电极部设在上述基板上。上述膜体部与上述电极部对置设置，具有导电性。上述施力部具有与上述基板连接的连接部和设在上述连接部与上述膜体部之间的弹性部，支承上述膜体部。上述电极部和上述膜体部能够对应于施加在上述电极部上的电压而成为接触的状态和分离的状态。上述弹性部在连接于上述连接部的一端与连接于上述膜体部的多个其他端之间具有分支部。
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公开(公告)号：CN102185517A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010573402.2
申请日：2010-11-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , B81B3/007 , B81B2201/018 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/0172 , H02N1/006
Abstract: 实施方式的静电致动器具备：设置在基板(100)上的电极部(2)；与电极部(2)相对而设置的导电性的膜体部(3)；设置于导电性的膜体部(3)的第1周边部(3a)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；以及设置在与第1周边部(3a)相对的第2周边部(3b)的、支撑膜体部(3)的多个加载部(4)；构成为通过对电极部(2)设定预定值的电压从而电极部(2)与导电性的膜体部(3)接触或者脱离的实施方式的静电致动器，在第1周边部(3a)以及第2周边部(3b)的各个，在多个加载部(4)的各个之间，其刚性相互不同。
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公开(公告)号：CN100530643C
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200710105311.4
申请日：2007-02-09
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H01H59/0009 , H01H2001/0063 , H01H2059/0018 , H02N1/006
Abstract: 半导体集成电路具有静电型致动器、检测电路、存储电路及偏置电路。上述静电型致动器具有上部电极、下部电极及在上述上部电极和上述下部电极间配置的上述绝缘膜。上述检测电路检测上述静电型致动器的上述绝缘膜中所积蓄的上述电荷量。上述存储电路存储由上述检测电路检测的上述电荷量的检测结果。上述偏置电路根据上述存储电路存储的上述检测结果，使用于驱动上述静电型致动器的驱动电压变化。
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