公开(公告)号：CN1212651C

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN02144068.9

申请日：2002-09-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 松井嘉孝 ,  小助川広志 ,  小寺雅子 ,  宫下直人

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/465 ,  C25F3/16 ,  C25F7/00

CPC classification number: C25F3/00 ,  H01L21/32115

Abstract: 通过在电解液内在阳电极与反电极之间施加电压，同时使所述阳电极与靶材料的表面接触，电解抛光靶材料。阳电极由一种电极材料形成，在使用恒电势器的电化学测量中，在0.1M的高氯酸溶液内，相对于银/氯化银电极，施加+2.5V电压时，该电极材料具有不高于10mA/cm2的电流密度。

公开(公告)号：CN1411039A

公开(公告)日：2003-04-16

申请号：CN02144068.9

申请日：2002-09-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 松井嘉孝 ,  小助川広志 ,  小寺雅子 ,  宫下直人

IPC: H01L21/306 ,  H01L21/465 ,  C25F3/16 ,  C25F7/00

CPC classification number: C25F3/00 ,  H01L21/32115

Abstract: 通过在电解液内在阳电极与反电极之间施加电压，同时使所述阳电极与靶材料的表面接触，电解抛光靶材料。阳电极由一种电极材料形成，在使用恒电势器的电化学测量中，在0.1M的高氯酸溶液内，相对于银/氯化银电极，施加+2.5V电压时，该电极材料具有不高于10mA/cm2的电流密度。