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公开(公告)号：CN101026368A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710007036.2
申请日：2007-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/17 , H03H3/02 , H03H9/02 , H01L41/00 , H01L41/047
CPC classification number: H03H9/173 , H03H3/02 , H03H2003/021
Abstract: 一种膜体声谐振器，包括：衬底；下电极；在下电极上设置的压电膜；与所述下电极相对并设置在压电膜上的上电极；以及多个凸起。所述衬底在其表面中具有腔。所述下电极从所述衬底的上表面在腔的上方延伸。所述凸起被设置在下电极下方的腔中。
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