固体摄像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1929146A

    公开(公告)日:2007-03-14

    申请号:CN200610137523.6

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 提供一种固体摄像装置,其特征在于,包括:半导体基板,其具有:存储通过在上述半导体基板的表层部形成的光电转换部的光电转换产生的信号电荷的第1导电类型的第1杂质区域;在上述第1杂质区域之下形成的上述第1导电类型的第2杂质区域;在上述半导体基板的厚度方向贯通上述半导体基板、并将存储在上述第1杂质区域的信号电荷传送到上述第2杂质区域的第1栅电极;以及在上述半导体基板的背面侧形成的、输入向第2杂质区域传送的信号电荷的信号处理部。

    固体摄像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100463205C

    公开(公告)日:2009-02-18

    申请号:CN200610137523.6

    申请日:2006-09-05

    Abstract: 提供一种固体摄像装置,其特征在于,包括:半导体基板,其具有:存储通过在上述半导体基板的表层部形成的光电转换部的光电转换产生的信号电荷的第1导电类型的第1杂质区域;在上述第1杂质区域之下形成的上述第1导电类型的第2杂质区域;在上述半导体基板的厚度方向贯通上述半导体基板、并将存储在上述第1杂质区域的信号电荷传送到上述第2杂质区域的第1栅电极;以及在上述半导体基板的背面侧形成的、输入向第2杂质区域传送的信号电荷的信号处理部。

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