公开(公告)号：CN118380363A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410040788.2

申请日：2024-01-11

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 曹健 ,  薮原秀彦 ,  村上友佳子 ,  依田文德

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明涉及接合装置以及接合方法，能够提高被接合部件彼此的密接性。实施方式的被接合部件彼此的接合装置具有载放第1被接合部件的工作台、压头以及可动部。压头在使第2被接合部件的平面相对于第1被接合部件的与相对于上述工作台接触的接触面相反侧的平面接触的状态下，将上述第2被接合部件的与上述平面相反侧的面朝向上述第1被接合部件的上述平面按压。可动部设置在压头的周围，在第2被接合部件的相反侧的面上，规定出从面向压头的前端的位置朝向第2被接合部件的边缘部的加压空气的流路。

公开(公告)号：CN118380364A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410041304.6

申请日：2024-01-11

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 曹健 ,  薮原秀彦 ,  村上友佳子 ,  依田文德

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及接合装置以及接合方法，能够提高被接合部件彼此的密接性。实施方式的接合装置具有工作台以及具有按压部的压头。在工作台上载放第1被接合部件。压头的按压部为，在使第2被接合部件的平面相对于第1被接合部件的与相对于工作台接触的接触面相反侧的平面接触、并将第2被接合部件载放于第1被接合部件的规定部位的状态下，将第2被接合部件朝向第1被接合部件加压。此时，压头的按压部形成为，使与第2被接合部件接触的接触区域从第2被接合部件的形心或者其附近呈环状扩展。