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发明公开
真空泵寿命预测装置和计算机可读记录介质审中-公开

公开(公告)号：CN117627910A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202310826065.0

申请日：2023-07-06

Applicant: 株式会社不二越

Inventor： 池田淳 , 松井丰胜 , 西村仁志

IPC: F04B51/00 , F04B37/14 , F04B39/00

Abstract: 本发明涉及真空泵寿命预测装置和计算机可读记录介质。本发明提供能容易地预测真空泵的寿命的真空泵寿命预测装置。本发明具备：数据获取部(11)，获取由检测真空泵(10B)的工作中的振动的振动加速度传感器检测到的数据；偏移量计算部(13)，基于由获取部(11)获取到的数据来计算真空泵(10B)的固有振动频率从基准值起的偏移量(变化量)；以及推断部(16)，基于由偏移量计算部(13)计算出的变化量来推断真空泵(10B)的寿命。

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