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公开(公告)号：CN1054485A
公开(公告)日：1991-09-11
申请号：CN90101021.9
申请日：1990-02-27
Applicant: 标准数据控制公司
IPC: G01L1/10
CPC classification number: G01P15/097 , G01L1/10 , G01L1/183 , Y10S73/01
Abstract: 具有静电驱动系统的双振动梁式的力传感器，它包括一个本体12，该本体包括基本上平行的第一和第二梁20、22，它们的端部是连在一起的，第一和第二电极14、16，相邻于但都不与各自的梁接触；驱动电路18，它产生振荡电压施加到电极上。梁经受静电力使梁在包含两梁的一个振动平面内产生振荡。梁的机械谐振控制谐振频率，该频率里沿梁施加的力的函数。在所述的一个实施例中，驱动装置还可以直接连接到一个梁上。
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