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公开(公告)号：CN1307441C
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN03122563.2
申请日：2003-04-18
Applicant: 柯尼卡株式会社
CPC classification number: G02B1/118 , G02B5/1809 , G02B5/1823 , G02B5/1833 , G11B7/1353 , G11B7/1367 , G11B7/1374 , G11B7/13922 , G11B11/10543 , G11B2007/0006
Abstract: 一种光学元件，该光学元件包括：第一光学表面；第二光学表面，与第一光学表面相反以便光束入射到第一光学表面并从第二光学表面射出，其中，第一光学表面和第二光学表面中的至少一个是具有折射能力的弯曲光学表面；周期性图形结构，具有构成双折射的特性，并设置于弯曲光学表面，周期性图形结构中的图形节距小于光束的波长。
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公开(公告)号：CN1453597A
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN03122563.2
申请日：2003-04-18
Applicant: 柯尼卡株式会社
CPC classification number: G02B1/118 , G02B5/1809 , G02B5/1823 , G02B5/1833 , G11B7/1353 , G11B7/1367 , G11B7/1374 , G11B7/13922 , G11B11/10543 , G11B2007/0006
Abstract: 一种光学元件，该光学元件包括：第一光学表面；第二光学表面，与第一光学表面相反以便光束入射到第一光学表面并从第二光学表面射出，其中，第一光学表面和第二光学表面中的至少一个是具有折射能力的弯曲光学表面；周期性图形结构，具有构成双折射的特性，并设置于弯曲光学表面，周期性图形结构中的图形节距小于光束的波长。
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公开(公告)号：CN1312534C
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN03127750.0
申请日：2003-08-13
Applicant: 柯尼卡株式会社
CPC classification number: H01J37/3045 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02B5/1857 , G02B5/1876 , G11B7/13922 , H01J37/3174 , H01J2237/30461 , H01J2237/31764 , H01J2237/31766
Abstract: 一种基于电子束的图形扫描方法，对基材照射电子束，通过按规定的剂量量扫描所述电子束而在所述基材上图形扫描期望的扫描图形，该方法包括：第1步骤，按第1剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第1区域；第2步骤，按第2剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第2区域；以及倾斜步骤，混合按所述第1剂量量扫描所述电子束的第1扫描和按所述第2剂量量扫描所述电子束的第2扫描，将第1区域和第2区域的边界面作为倾斜面；从而在所述基材上扫描期望的扫描图形。
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公开(公告)号：CN1484098A
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN03127750.0
申请日：2003-08-13
Applicant: 柯尼卡株式会社
CPC classification number: H01J37/3045 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02B5/1857 , G02B5/1876 , G11B7/13922 , H01J37/3174 , H01J2237/30461 , H01J2237/31764 , H01J2237/31766
Abstract: 一种基于电子束的图形扫描方法，对基材照射电子束，通过按规定的剂量量扫描所述电子束而在所述基材上图形扫描期望的扫描图形，该方法包括：第1步骤，按第1剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第1区域；第2步骤，按第2剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第2区域；以及倾斜步骤，混合按所述第1剂量量扫描所述电子束的第1扫描和按所述第2剂量量扫描所述电子束的第2扫描，将第1区域和第2区域的边界面作为倾斜面；从而在所述基材上扫描期望的扫描图形。
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