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公开(公告)号:CN104094429B
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201380007536.X
申请日:2013-01-29
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: H01L41/09 , H01L41/22 , B06B1/06 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G02B26/08 , H01H57/00
Abstract: 压电致动器器件具备:振动部和构成为使振动部振动的驱动部。振动部具有:振动的下部振动层和与下部振动层的上表面结合且与下部振动层一起振动的上部振动层。驱动部具有:设于下部振动层的下表面的上部电极层、设于上部电极层的下表面的压电体层和设于压电体层的下表面的下部电极层。振动部的下部振动层的主成分为有机材料。振动部的上部振动层的主成分为无机材料。下部振动层的纵弹性系数小于上部振动层的纵弹性系数。该压电致动器器件能不使尺寸和消耗电力增大地使抗干扰振动性和振动部的挠曲量较大。
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公开(公告)号:CN104755992A
公开(公告)日:2015-07-01
申请号:CN201380056768.4
申请日:2013-10-01
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: H01L41/0933 , B81B3/0048 , B81B2203/0154 , B81B2203/0163 , B81B2203/058 , G02B26/0858 , G02B26/101 , H01L41/0825 , H01L41/0953 , H02N11/006
Abstract: 致动器具有:固定框;一对第1振动部;可动框;一对第2振动部;可动部;和第1监控信号检测部。第1振动部分别与固定框的内侧对置,具有连接于固定框的内侧的第1端和连接于可动框的外侧的第2端。第2振动部分别与可动框的内侧对置,具有连接于可动框的内侧的第1端和连接于可动部的第2端。第2振动部在与第1振动部延伸的方向正交的方向上延伸。第1监控信号检测部设置于可动框与第1振动部的连接部分,对可动框的位移进行检测。
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公开(公告)号:CN111279243B
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN201880069405.7
申请日:2018-10-25
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Abstract: 光学反射元件具备:反射光的反射部、与反射部连结的第一连接部、与第一连接部连结的第一和第二传递部、与第一和第二传递部的基端部分别连结的第一和第二振动部、与第一和第二振动部的前端部分别连结的第一和第二驱动部、基部、和将第一和第二振动部相对于基部可振动地连接于基部的第二连接部。该光学反射元件能够高效地将振动部的振动转换为反射部的旋转摆动,具有良好的偏转角特性。
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公开(公告)号:CN104380173A
公开(公告)日:2015-02-25
申请号:CN201380031233.1
申请日:2013-05-30
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/0841 , G02B26/105 , G02B27/0006 , G03G15/04072 , H01L41/042 , H01L41/0933
Abstract: 光学反射元件(1)具备:框体(6);一端连接于所述框体的内侧的驱动部(5);连接于驱动部的另一端的可动部(4);设置于所述可动部的表面的反射部(2);和设置于所述可动部的电极。所述驱动部构成为通过驱动信号而被驱动来使所述可动部振动。所述电极构成为被输入比所述驱动信号高的频率的高频信号。该光学反射元件高速且以大偏转角被驱动,能够防止尘埃向所述可动部的附着。
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公开(公告)号:CN115087903A
公开(公告)日:2022-09-20
申请号:CN202180013384.9
申请日:2021-03-23
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Abstract: 本发明涉及光学反射元件以及光学反射系统。光学反射元件(100)具备:一对振子组(101),具有以振动中心排列在假想的旋转轴(299)上的方式连结的多个音叉振子(110);反射体(120),配置在一对振子组(101)之间;一对支承部(130),分别将一对振子组(101)和反射体(120)连结;和基体(140),分别以能够振动的方式连结一对振子组(101)。
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公开(公告)号:CN104272167B
公开(公告)日:2017-03-08
申请号:CN201380023796.6
申请日:2013-04-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0043 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G02B26/0833 , G02B26/10 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 本发明提供一种光学反射元件,具有:反射镜部、一对接合部、一对振动部、多个驱动部、和固定部。接合部分别具有与反射镜部的对置的各个位置连接的第1端、和该第1端的相反侧的第2端,沿第1轴延伸。振动部分别具有与接合部的一方的第2端连接的中央部。多个驱动部分别设置在一对振动部的各自上,使反射镜部转动。在固定部连结一对振动部的各两端。定义为与接合部的第1轴正交的方向的长度的梁宽,大于一对振动部各自的梁宽。
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公开(公告)号:CN104272166A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201380023785.8
申请日:2013-04-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 光学反射元件具备:固定部,其具有彼此处于相反侧的一对边;一对第一振动部,其具有分别与固定部的一对边连接的一端;一对连接部,其分别与一对第一振动部的另一端连接;可动框,其经由一对连接部以能够转动的方式支承于一对第一振动部的另一端;一对第二振动部,其具有分别与可动框的一对边连接的一端;以及反射镜部,其以能够转动的方式与一对第二振动部的另一端连接。一对第二振动部构成为,使绕转动轴的转动振动传递至反射镜部。一对连接部在转动轴的方向上与可动框连接。一对连接部与可动框的基于反射镜部的转动振动而产生的变位量最小的部分连接。该光学反射元件能够减少不必要的振动,能够投影清晰的图像。
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公开(公告)号:CN114730072B
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202080079441.9
申请日:2020-10-29
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Abstract: 本公开提供一种光控制系统以及光学反射元件,提高光学反射元件的性能。光控制系统(10)具有光学反射元件(100)和控制装置(20)。光学反射元件(100)具有反射体和配置在夹着反射体的位置的第一摆动部(210)及第二摆动部(220)。第一摆动部(210)及第二摆动部(220)各自具有与反射体连结的第一连接体、均与第一连接体连结的第一振动体及第二振动体、经由第一振动体使第一连接体动作的第一驱动体、经由第二振动体使第一连接体动作的第二驱动体、相对于基体连接第一及第二振动体的第二连接体。控制装置(20)使第一摆动部(210)的第一及第二驱动体以相同的相位振动,使第二摆动部(220)的第一及第二驱动体以相同的相位且与第一摆动部(210)相反的相位振动。
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公开(公告)号:CN116615971A
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN202180080805.X
申请日:2021-11-22
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
Inventor: 小牧一树
Abstract: 本发明提供一种压电驱动元件。压电驱动元件(1)是一方的固定端(E1)被固定于支承台(40)且另一方的自由端(E2)被驱动的悬臂式的压电驱动元件。压电驱动元件(1)具备配置在固定端(E1)侧的第1压电体(10a、10b)、和配置在比固定端(E1)更靠自由端(E2)侧的第2压电体(20a、20b)。在此,第2压电体(20a、20b)的厚度被设定得比第1压电体(10a、10b)的厚度小。
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公开(公告)号:CN104272167A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201380023796.6
申请日:2013-04-24
Applicant: 松下知识产权经营株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0043 , B81B2201/032 , B81B2201/042 , B81B2203/0163 , G02B26/0833 , G02B26/10 , G02B26/101 , G02B26/105
Abstract: 本发明提供一种光学反射元件,具有:反射镜部、一对接合部、一对振动部、多个驱动部、和固定部。接合部分别具有与反射镜部的对置的各个位置连接的第1端、和该第1端的相反侧的第2端,在第1轴方向上延伸。振动部分别具有与接合部的一方的第2端连接的中央部。多个驱动部分别设置在一对振动部的各自上,使反射镜部转动。在固定部连结一对振动部的各两端。定义为与接合部的第1轴正交的方向的长度的梁宽,大于一对振动部各自的梁宽。
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