公开(公告)号：CN102124352A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：CN200980131560.8

申请日：2009-11-19

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 吉田仁 ,  铃木裕二 ,  茨伸行 ,  上田英喜 ,  冈田全史

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0831

Abstract: 本发明提供一种加速度传感器，具备呈矩形形状的可动电极(4、5)、连接在可动电极(4、5)的对置的两边的中央并且支撑可动电极(4、5)并使该可动电极自由摆动的一对横梁(6a、6b、7a、7b)、和分别设置在以连结所述一对横梁(6a、6b、7a、7b)的直线为分界线的所述分界线的一侧及另一侧，且相对于所述可动电极(4、5)的表面空出规定的间隔对置地配置的第1及第2固定电极(20a、20b、21a、21b)。并且，在所述可动电极(4、5)的背面，在所述分界线的一侧及另一侧分别形成有第1及第2凹部(11a、11b、11c、11d、13a、13b、13c、13d、12、14)。