电子束记录装置及电子束记录方法

    公开(公告)号:CN1186768C

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN02124745.5

    申请日:2002-06-24

    Abstract: 提供一种用电子束记录装置曝光穴时,形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有:发射电子束的电子射线源;根据规定的信息信号生成电压的电压控制部;根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极;遮蔽上述电子束的遮蔽板;载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过,在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽,在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压,使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。

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