粘弹性抛光器及使用它的研磨方法

    公开(公告)号:CN1795075A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200480014558.X

    申请日:2004-07-09

    CPC classification number: B24B37/16

    Abstract: 一种用于研磨加工的粘弹性抛光器。该粘弹性抛光器,在中心部形成有规定的内周半径的孔部,并在固接着粘弹性抛光器的圆盘状台板的主表面上以等角度间隔多条地形成有从中心部向外周呈放射状的槽部。由此,具有能稳定地供给研磨液、且不需要对粘弹性层形成槽部的效果。

Patent Agency Ranking