公开(公告)号：CN1132964A

公开(公告)日：1996-10-09

申请号：CN95121526.4

申请日：1995-11-10

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 市川洋 ,  足立秀明 ,  濑恒谦太郎 ,  河岛俊一郎

IPC: H03H9/64

CPC classification number: H03H9/1071 ,  H03H3/10 ,  H03H9/02574 ,  H03H9/02921 ,  H03H9/25 ,  Y10T29/42

Abstract: 一种稳定的声表面波组件，可高精度改变工作频率；一种制造该组件的方法，可防止在将组件衬底分离成单个的元件时组件电极断裂。该组件包括：发送和接收声表面波的电极、传输声表面波的基片、高电阻膜、及使声表面波的传输速度在高电阻膜中和在基片中是不同的薄膜。该方法的步骤包括：在一片声表面波传输基片上形成金属膜；在金属膜上形成电极；以及用光等照射金属膜以改变膜的电阻率。