公开(公告)号：CN1090324C

公开(公告)日：2002-09-04

申请号：CN96122837.7

申请日：1996-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大土哲郎 ,  杉本雅人 ,  小掠哲义 ,  富田佳宏 ,  川崎修

IPC: G01P15/09 ,  H01L41/083 ,  H01L41/113

CPC classification number: G01P15/0891 ,  G01L5/0052 ,  G01P1/127 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01R31/2834 ,  G01R31/30 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49789

Abstract: 将由具有相对的2个主面的厚50μm、宽0.5m、长2mm的长方形的铌酸锂构成的压电基板(2a、2b)的主面之间以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合，构成压电元件(2)。将由铌酸锂构成的支持体(4a、4b)与压电元件(2)的一端直接接合。在压电元件(2)的相对的2个主面和支持体(4a、4b)上连续地形成由厚度0.2μm的铬-金构成的电极(3a、3b)，构成悬臂梁结构的双压电晶片式机-电变换元件(1)。从而，构成本发明的加速度传感器。

公开(公告)号：CN1154478A

公开(公告)日：1997-07-16

申请号：CN96122837.7

申请日：1996-10-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 大土哲郎 ,  杉本雅人 ,  小掠哲义 ,  富田佳宏 ,  川崎修

IPC: G01P1/00 ,  G01P21/00

CPC classification number: G01P15/0891 ,  G01L5/0052 ,  G01P1/127 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0922 ,  G01R31/2834 ,  G01R31/30 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49126 ,  Y10T29/49789

Abstract: 将由具有相对的2个主面的厚50μm、宽0.5m、长2mm的长方形的铌酸锂构成的压电基板2a、2b的主面之间以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合，构成压电元件2。将由铌酸锂构成的支持体4a、4b与压电元件2的一端直接接合。在压电元件2的相对的2个主面和支持体4a、4b上连续地形成由厚度0.2μm的铬-金构成的电极3a、3b，构成悬臂梁结构的双压电晶片式机-电变换元件1。从而，构成本发明的加速度传感器。