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公开(公告)号：CN1484378A
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：CN03149817.5
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02992 , H03H3/08 , H03H9/02921 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/49128 , Y10T29/49144 , Y10T29/49156 , Y10T29/49794 , Y10T29/49798
Abstract: 一种SAW元件，包括在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个叉指换能器电极和多个反射器电极导引出的多个焊盘电极，多个焊盘电极具有不与SAW元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与外周区域直接对向的邻接焊盘电极，通过至少在切割工序前刻蚀除去连接了孤立焊盘电极与邻接焊盘电极的连接电极，防止因热电效应导致的放电的发生，防止电极的损伤。
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公开(公告)号：CN1242554C
公开(公告)日：2006-02-15
申请号：CN03149817.5
申请日：2003-07-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02992 , H03H3/08 , H03H9/02921 , Y10T29/42 , Y10T29/49005 , Y10T29/49007 , Y10T29/49128 , Y10T29/49144 , Y10T29/49156 , Y10T29/49794 , Y10T29/49798
Abstract: 一种SAW元件，包括在压电基片上形成的多个叉指换能器电极、在其两侧配置的反射器电极以及从多个叉指换能器电极和多个反射器电极导引出的多个焊盘电极，多个焊盘电极具有不与SAW元件的外周区域直接对向的孤立焊盘电极和与外周区域直接对向的邻接焊盘电极，通过至少在切割工序前刻蚀除去连接了孤立焊盘电极与邻接焊盘电极的连接电极，防止因热电效应导致的放电的发生，防止电极的损伤。
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公开(公告)号：CN1491481A
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：CN02804499.1
申请日：2002-12-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/14541 , H03H9/02661
Abstract: 一种弹性表面波装置。其具有压电衬底和设置在其上面的电极。电极具有：第一金属层，其设在压电衬底上方，且有梯形剖面；第二金属层，其设在压电衬底上方与第一金属层相同的位置上。该弹性表面波装置通过限制电极的侧面的形状减小传播频率的偏差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100555849C
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN02812009.4
申请日：2002-07-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H3/08
Abstract: 本发明提供制造备有在同一压电基片上具有不同厚度的第1导体图案和第2导体图案的弹性表面波装置的制造方法。通过形成金属膜的多个工序和刻蚀工序的组合，能够高精度地制造在同一压电基片上具有多个电极膜厚的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1220329C
公开(公告)日：2005-09-21
申请号：CN02803107.5
申请日：2002-09-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 一种弹性表面波装置，反射器电极的共通部分和条带部分均被局部切入，而使电极间隔扩大。这样，可以减小在对金属薄膜进行蚀刻时产生的带电量及带电量的平衡所带来的影响，而可消除电极形状的钝化，从而减小弹性表面波装置的传播损耗。
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公开(公告)号：CN1290258C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN02804499.1
申请日：2002-12-25
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H03H9/14541 , H03H9/02661
Abstract: 一种弹性表面波装置。其具有压电衬底和设置在其上面的电极。电极具有：第一金属层，其设在压电衬底上方，且有梯形剖面；第二金属层，其设在压电衬底上方与第一金属层相同的位置上。该弹性表面波装置通过限制电极的侧面的形状减小传播频率的偏差。
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公开(公告)号：CN1516922A
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN02812009.4
申请日：2002-07-01
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H3/08
Abstract: 本发明提供制造备有在同一压电基片上具有不同厚度的第1导体图案和第2导体图案的弹性表面波装置的制造方法。通过形成金属膜的多个工序和刻蚀工序的组合，能够高精度地制造在同一压电基片上具有多个电极膜厚的弹性表面波装置。
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公开(公告)号：CN1476669A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN02803107.5
申请日：2002-09-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H03H9/02921 , H03H3/08 , H03H9/14538
Abstract: 一种弹性表面波装置，反射器电极的共通部分和条带部分均被局部切入，而使电极间隔扩大。这样，可以减小在对金属薄膜进行蚀刻时产生的带电量及带电量的平衡所带来的影响，而可消除电极形状的钝化，从而减小弹性表面波装置的传播损耗。
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