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公开(公告)号:CN101582269A
公开(公告)日:2009-11-18
申请号:CN200910149719.0
申请日:2009-04-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/0909 , G11B7/261
Abstract: 本发明提供一种聚焦光学系统和光盘母盘曝光装置。在光盘或光盘母盘曝光装置的聚焦光学系统中,通过调整象散光学系统的柱面透镜与4分割检测器的相对位置关系,使来自光盘母盘的反射光中呈现的干涉条纹入射到4分割检测器的不灵敏区,实现不受基于干涉条纹的聚焦误差信号的变动影响的象散聚焦伺服。由此,可抑制来自光盘或光盘母盘的反射光中呈现的干涉条纹的影响。
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公开(公告)号:CN101582269B
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN200910149719.0
申请日:2009-04-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G11B7/0909 , G11B7/261
Abstract: 本发明提供一种聚焦光学系统和光盘母盘曝光装置。在光盘或光盘母盘曝光装置的聚焦光学系统中,通过调整象散光学系统的柱面透镜与4分割检测器的相对位置关系,使来自光盘母盘的反射光中呈现的干涉条纹入射到4分割检测器的不灵敏区,实现不受基于干涉条纹的聚焦误差信号的变动影响的象散聚焦伺服。由此,可抑制来自光盘或光盘母盘的反射光中呈现的干涉条纹的影响。
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