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公开(公告)号：CN114594656A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202210490899.4
申请日：2022-05-07
Applicant: 杭州福斯特应用材料股份有限公司
Abstract: 本发明提供了感光性树脂组合物、感光干膜和相应的元件。该感光性树脂组合物包括：碱可溶性树脂、光聚合单体和光引发剂，光引发剂包括具有结构式I所示结构的化合物，结构式I结构式Ⅱ结构式I中，R为结构式Ⅱ所示的结构；结构式Ⅱ中，A选自氮原子、氧原子、硫原子中的任意一种；R1为取代基，R1选自H、Cl、Br、C1~C4的烷基中的任意一种。本申请将现有的三芳基咪唑二聚体重新进行结构设计，引入功能性的基团，并使用特定的感光性树脂组合物，对显影液的分散稳定性优异、显影沉淀物少，而且具有较高的光敏性，可形成良好的抗蚀图案。
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