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公开(公告)号：CN108588645B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201810481929.9
申请日：2018-05-18
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼散射基底的制备方法。本发明包括首先清洗用于沉积样品的Si衬底，然后将衬底放置在样品架上，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入流速为40sccm的混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，观测曝光后形貌。本发明制备的基底具有表面增强拉曼散射的效应，且具有纳米级的粗糙表面，为产生“热点”提供了一种新的可能性。
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公开(公告)号：CN106676495A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710060592.X
申请日：2017-01-25
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
CPC classification number: C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/35 , C23C14/54
Abstract: 本发明公开了一种产生纯氮气等离子体的装置及其使用方法。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。
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公开(公告)号：CN108624843B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201810481125.9
申请日：2018-05-18
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼散射基底的制备方法。本发明首先清洗用于沉积样品的Si衬底，然后将衬底置于CVD中，通甲烷，高温沉积石墨烯，再将衬底置于磁控溅射设备样品架，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入流速为40sccm的混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，观测曝光后形貌。本发明制备的基底具有表面增强拉曼散射的效应，且具有纳米级的粗糙表面。
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公开(公告)号：CN109306465B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201811365374.8
申请日：2017-01-25
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种对Cu3N薄膜进行定量掺杂的实现方法。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。
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公开(公告)号：CN106676495B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201710060592.X
申请日：2017-01-25
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种产生纯氮气等离子体的装置及其使用方法。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108624843A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810481125.9
申请日：2018-05-18
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种表面增强拉曼散射基底的制备方法。本发明首先清洗用于沉积样品的Si衬底，然后将衬底置于CVD中，通甲烷，高温沉积石墨烯，再将衬底置于磁控溅射设备样品架，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入流速为40sccm的混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，观测曝光后形貌。本发明制备的基底具有表面增强拉曼散射的效应，且具有纳米级的粗糙表面。
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公开(公告)号：CN115731661A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211373812.1
申请日：2022-11-04
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种基于人工智能的消防报警装置，其结构包括移动底板、报警主机、蜂鸣器、警示灯，移动底板上端面中部与报警主机底部相焊接，报警主机顶部设有蜂鸣器并且电连接，经过导水管外侧的喷嘴将水均匀的喷出进行灭火工作，能够对探测机构外侧进行全面的防火保护，确保探测机构能够将火灾现场的实时情况进行反馈，当遇到现场的火灾情况较为严重时，通过电磁片断电失去对滑动轴的磁性吸附，这时滑动轴在滑轨内部进行复位滑动，将卡合架和探测器一并收回保护筒内部，同时通过扭力轴对开闭板施加复位弹性扭力，从而使得两侧的开闭板自动闭合，提高对收回保护筒内部的探测器进行保护的效果，提高探测器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN108411271B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201810480114.9
申请日：2018-05-18
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种制备多孔纳米铜结构的方法。本发明首先清洗沉积样品的Si衬底，然后将衬底放置在样品架上，样品架与靶表面平行并且相距55mm。当真空腔内本底气压低于6×10－6mbar时，通入混合气体，从而溅射铜靶；溅射镀膜后，将Cu3N薄膜样品取出并放入SEM样品室，抽真空，选择电子束曝光模式，调节电子束聚焦，使电子束束斑控制在1微米左右，对Cu3N薄膜选定区域进行电子束曝光。最后启用SEM扫描模式，对曝光区进行SEM成像，根据SEM扫描图像结果，调节曝光参数，直到出现预期多孔纳米铜结构为止。本发明能有效地形成预期纳米多孔铜结构，纳米多孔铜结构具有纳米级的粗糙表面，具有产生“热点”的可能性。
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公开(公告)号：CN109536912B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201811365386.0
申请日：2017-01-25
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种对Cu3N薄膜进行定量掺杂的方法及其装置。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。
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公开(公告)号：CN109536912A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811365386.0
申请日：2017-01-25
Applicant: 杭州电子科技大学信息工程学院
Abstract: 本发明公开了一种对Cu3N薄膜进行定量掺杂的方法及其装置。本发明的真空腔内设置有样品台、加热丝、衬底、靶，样品台设置在真空腔内底部，样品台上表面设置有加热丝，加热丝上设置有衬底；靶设置在真空腔内顶部；靶上方设置有磁铁，磁铁上方设置有冷却水系统，冷却水系统用于冷却磁铁；匹配箱的一端与冷却水系统相连接，另一端与射频源相连接；气瓶通过气管与真空腔相连接，气管上设置有流量控制器、粗真空规和通气阀；机械泵与分子泵的一端相连接，分子泵的另一端通过法兰与真空腔相连接；真空腔的外壁上设置有冷阴极规。本发明能够实时观测憋气时气管的气压，能控制启辉气压,对分子泵损伤小节约成本，可实现对难起辉氮气等气体的起辉。
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