公开(公告)号：CN117802461A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202311850409.8

申请日：2023-12-29

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 张永琪 ,  母艳超 ,  杨凯宁 ,  胡鸿锐 ,  余森江

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/20 ,  C23C14/04 ,  C23C14/58 ,  C23C14/54 ,  A61B5/024 ,  A61B5/11 ,  A61B5/00 ,  G01B7/16

Abstract: 本发明涉及一种基于周期性梯度裂纹阵列的柔性应变传感器的制备方法。先将掩模板悬空固定于基底上方，放入溅射仪的真空腔内，将靶材固定于阴极上，基底置于正对靶面的阳极上，抽真空后，通入惰性气体，采用溅射法制备周期性厚度梯度薄膜。传统柔性应变传感器因为其薄膜结构单一，高灵敏度和高拉伸性很难同时具备。而本发明设计的制备方法利用掩模板和薄膜沉积等技术，制备出的薄膜具备周期性的厚度梯度，在拉伸时会产生周期性梯度裂纹阵列。此制备的柔性应变传感器在多重应用场景的实用价值，周期性厚度梯度可使薄膜表面产生周期性的力学行为，在柔性电子材料与器件领域具有广阔的应用前景。