公开(公告)号：CN102762954B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201180010540.2

申请日：2011-02-18

Applicant: 村田电子有限公司

Inventor： 维耶勒·卡亚卡里

IPC: G01C19/5621

CPC classification number: G01C19/5621 ,  H03H9/02275 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2484 ,  H03H9/2494

Abstract: 本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。

公开(公告)号：CN101919159B

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN200980102639.8

申请日：2009-01-23

Applicant: 村田电子有限公司

Inventor： 维耶勒·卡亚卡里

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  B81B3/00

CPC classification number: H03H9/2463 ,  H02N1/008 ,  H03H3/0076 ,  H03H9/02275 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2478 ,  H03H9/2484 ,  H03H2009/02299

Abstract: 本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统(MEMS)谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统(MEMS)谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件(3)、(23～24)、(27～30)的宽度大于电极指(5～9)、(25～26)、(31～34)的宽度，所述宽度的尺寸具体确定为使谐振频率变化关于尺寸制备差异的灵敏度在公式上接近零。所述改进结构特别是在小尺寸方案中，对制备差异具有频率鲁棒性，并可作为性能良好的可靠频率基准。