公开(公告)号：CN1912181B

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN200610101893.4

申请日：2006-07-12

Applicant: 村田株式会社

Inventor： 高上豪伦 ,  川上浩 ,  加藤和彦

IPC: C23C18/16

CPC classification number: G05D21/02 ,  C23C18/1617

Abstract: 本发明的无电镀敷溶液再生设备包括：用于测量随镀敷处理在镀槽(20)中形成亚磷酸的形成速率的传感器(20b)、用于提取出镀槽中的镀敷溶液(100)以将镀敷溶液转移到第一加工槽(11)中的分流器(21)、用于测量提取出的镀敷溶液中所含亚磷酸的浓度的传感器(31)、用于向第一加工槽提供从镀敷溶液中所含亚磷酸生成亚磷酸钙(105)所需的量的碳酸钙或氢氧化钙(104)的添加装置(13)、用于从镀敷溶液中分离并除去第一加工槽中生成的亚磷酸钙的分离器(14)、用于将已经从中分离并除去亚磷酸钙的镀敷溶液转移到镀槽中的抽空泵(22)、和用于控制分流器(21)和抽空泵(22)转移速率的控制器(10)。

公开(公告)号：CN1912181A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200610101893.4

申请日：2006-07-12

Applicant: 村田株式会社

Inventor： 高上豪伦 ,  川上浩 ,  加藤和彦

IPC: C23C18/16

CPC classification number: G05D21/02 ,  C23C18/1617

Abstract: 本发明的无电镀敷溶液再生设备包括：用于测量随镀敷处理在镀槽(20)中形成亚磷酸的形成速率的传感器(20b)、用于提取出镀槽中的镀敷溶液(100)以将镀敷溶液转移到第一加工槽(11)中的分流器(21)、用于测量提取出的镀敷溶液中所含亚磷酸的浓度的传感器(31)、用于向第一加工槽提供从镀敷溶液中所含亚磷酸生成亚磷酸钙(105)所需的量的碳酸钙或氢氧化钙(104)的添加装置(13)、用于从镀敷溶液中分离并除去第一加工槽中生成的亚磷酸钙的分离器(14)、用于将已经从中分离并除去亚磷酸钙的镀敷溶液转移到镀槽中的抽空泵(22)、和用于控制分流器(21)和抽空泵(22)转移速率的控制器(10)。