调整平面元件表面与运动平面平行的方法

    公开(公告)号:CN106018421A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610530567.9

    申请日:2016-07-07

    Applicant: 李大伟

    CPC classification number: G01N21/88 B23K26/70

    Abstract: 一种调整平面元件表面与运动平面平行的方法,该方法基于平面元件反射光的指向调整平面元件表面与运动平面的平行,包括调整水平及竖直方向上的平行两个方面。对于平面元件表面平行于运动平面的情况,平面元件移动后,激光入射到平面元件表面的反射光指向不变;而对于平面元件表面不平行于运动平面的情况,平面元件移动后,探测激光入射到平面元件表面的反射光指向发生变化,移动距离越远,反射光指向偏离越大。该方法简单易行,可有效实现平面元件表面和运动平面的平行。

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