一种氧化铈基抛光粉及制备方法、抛光液及应用

    公开(公告)号:CN119662130A

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202311210359.7

    申请日:2023-09-19

    Abstract: 一种氧化铈基抛光粉及制备方法、抛光液及应用,氧化铈基抛光粉包括由多个一次晶粒组装而成的多孔二次颗粒,一次晶粒孔径为2‑30nm,孔容积为0.10‑0.50cm3/g,比表面积为10‑80m2/g,表面三价铈含量占表面总铈含量的10%‑40%。本发明氧化铈基抛光粉的微观结构为纳米初级颗粒组装而成的多孔氧化铈基颗粒,自组装结构使其具有较高表面三价铈含量的同时具有更高的比表面积,有利于获得更高的抛光速率;亚微米级的粒径,提高了其在抛光浆料中的分散性;多孔结构的降低了其杨氏模量,使其在抛光过程中不易破碎,提高了抛光后的工件的表面精度且延长了抛光粉的寿命。因此,本发明提供的氧化铈基抛光粉同时具有优异的抛光速率和抛光精度,且具有较长的使用寿命。

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