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公开(公告)号：CN116559986B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310548259.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明关于一种点阵投射器装置及其制备方法，涉及达曼光栅技术领域。包括：提出一种复合达曼光栅结构，将两个二维正交达曼光栅相位相叠加形成一个双周期复合达曼光栅；基于matlab依据标量衍射理论对双周期达曼光栅进行的光学仿真，得到衍射点阵图；利用衍射点阵图，采用DMD投影光刻制备复合达曼光栅器件；复合达曼光栅性能检测：通过成像实验评估所制备的双周期复合达曼光栅的远场光学响应和多光束质量。本发明双周期复合达曼光栅的特征尺寸和两个周期中周期较小的达曼光栅特征尺寸一致，在提供大视场点阵的情况下不会增加制作难度，且双周期复合达曼光栅是一个器件，相较于耦合达曼光栅，衍射效率有了大大的提升。
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公开(公告)号：CN116559986A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310548259.9
申请日：2023-05-15
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明关于一种点阵投射器装置及其制备方法，涉及达曼光栅技术领域。包括：提出一种复合达曼光栅结构，将两个二维正交达曼光栅相位相叠加形成一个双周期复合达曼光栅；基于matlab依据标量衍射理论对双周期达曼光栅进行的光学仿真，得到衍射点阵图；利用衍射点阵图，采用DMD投影光刻制备复合达曼光栅器件；复合达曼光栅性能检测：通过成像实验评估所制备的双周期复合达曼光栅的远场光学响应和多光束质量。本发明双周期复合达曼光栅的特征尺寸和两个周期中周期较小的达曼光栅特征尺寸一致，在提供大视场点阵的情况下不会增加制作难度，且双周期复合达曼光栅是一个器件，相较于耦合达曼光栅，衍射效率有了大大的提升。
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