一种进行微纳米图案化的方法和装置

    公开(公告)号:CN117720063A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311729998.4

    申请日:2023-12-15

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明属于微纳尺度图案化技术领域,具体涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。本发明在双层中空玻璃基板上平铺水凝胶溶液,水凝胶预聚后加入待图案化液滴,该液体在界面张力作用下形成待图案化液柱,然后将激光照射到待图案化液柱中,激光波长与液柱的吸收相匹配,产生稳定的流场、温度场及光力场。本发明通过光热产生的对流和光力共同作用,将待图案化颗粒捕获至修饰双层中空玻璃基板内表面预定位置,避免了光力方向产生角度偏差导致的图案位置误差,光热效应还促进了待图案化颗粒周围的水凝胶聚合,进而将待图案化颗粒固定。本发明可以在各种时间和空间分辨率下进行定制,精确快速实现胶体颗粒图案化。

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