公开(公告)号：CN103547703A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201180068828.5

申请日：2011-12-22

Applicant: 普尔·文图拉公司

Inventor： M.R.埃里克森 ,  H.J.普尔 ,  N.贾姆施迪 ,  A.W.卡斯特三世 ,  A.L.丁古斯

IPC: C23C16/00 ,  C23C16/46 ,  F27B5/16

CPC classification number: H01L21/67109 ,  F28C3/005 ,  F28D1/0477 ,  F28D2021/0077 ,  F28F1/32 ,  H01L21/6719 ,  Y10T29/4935

Abstract: 本发明涉及一种扩散腔室，在太阳能电池板基板处理期间排除了气态硒化物物种向大气的迁移和泄露，该腔室包括：框架，支承着一种存放腔室，存放腔室内约束有一种密封处理腔室；与密封处理腔室的外部成流体连通的第一流体处置系统/热源模块；以及，与密封处理腔室的内部成流体连通的第二流体处置系统/热源模块。

公开(公告)号：CN103262216A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201280002909.X

申请日：2012-01-16

Applicant: 普尔·文图拉公司

Inventor： M.R.埃里克森 ,  A.L.丁古斯 ,  A.W.卡斯特三世 ,  H.J.普尔 ,  N.詹斯迪

IPC: H01L21/22

CPC classification number: F27B5/10 ,  F27B5/04 ,  F27B5/06 ,  Y10T29/49007 ,  Y10T29/4935

Abstract: 框架(104)支承着容纳腔室(102)，容纳腔室优选地被配置成用以封闭并约束处理腔室(106)。热源模块(108)被安置于容纳腔室与处理腔室之间，而热调节腔(110)被维持在热源模块与处理腔室之间。优选地，至少一个流体入口箱(112)与热调节腔成流体连通，其中流体入口箱(112)提供一种板阀(134)，板阀减缓了流体从热调节腔通过流体入口箱且到热调节腔外部的环境的流动。此外，优选的流体入口箱还包括一种流量调整结构(136)，流量调整结构与板阀相互作用以控制从热调节腔外部的环境经过板阀且进入到热调节腔内的流体流动。

公开(公告)号：CN103547698B

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201180068833.6

申请日：2011-12-22

Applicant: 普尔·文图拉公司

Inventor： M.R.埃里克森 ,  A.L.丁古斯 ,  A.W.卡斯特三世 ,  H.J.普尔 ,  N.贾姆施迪

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/46

CPC classification number: C23C16/4411 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/463 ,  C23C16/466 ,  C23C16/52 ,  F28C3/005 ,  F28D1/0477 ,  F28D2021/0077 ,  F28F1/32 ,  G05D23/1927 ,  G05D23/193 ,  G05D23/1932 ,  G05D23/1934 ,  G05D23/22 ,  H01L21/67109

Abstract: 优选地，获得密封处理腔室(168)的内外热测量值允许控制系统(202)基于内外热测量值与预定值的比较来生成控制信号。向流体处置系统(216)提供控制信号，其中流体处置系统调制第一流体围绕密封处理腔室外部的流动。还向闭环热交换系统(220)提供控制信号，其中闭环热交换系统基于控制信号来调制在密封处理腔室的内腔内的第二流体的流动。还向开环热交换系统(218)提供控制信号，其中开环热交换系统调制密封处理腔室的内腔内的第三流体的流动。

公开(公告)号：CN104051566A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201310183352.0

申请日：2013-05-17

Applicant: 普尔·文图拉公司

Inventor： M.R.埃里克森 ,  H.J.普尔 ,  N.贾姆施迪 ,  A.W.卡斯特三世 ,  A.L.丁古斯

IPC: H01L31/18

CPC classification number: F27B5/04 ,  F27B5/14 ,  F27B5/18 ,  F27B17/0016 ,  F27B17/0025 ,  F27B17/0075 ,  F27D19/00 ,  F27D21/00 ,  F28D1/0477 ,  F28D2021/0077 ,  F28F1/32

Abstract: 本发明涉及具有对流压缩机的热扩散室，优选地，公开了支撑容纳室的框架（处理室限制在容纳室内）、以及与密封处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，该流体入口结构包括至少一个流量调节结构以控制来自流体源且在处理室的外部周围的流体流量，以及与处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，该流体对流系统包括延伸到处理室中的旋转压缩机组件。

公开(公告)号：CN103547698A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201180068833.6

申请日：2011-12-22

Applicant: 普尔·文图拉公司

Inventor： M.R.埃里克森 ,  A.L.丁古斯 ,  A.W.卡斯特三世 ,  H.J.普尔 ,  N.贾姆施迪

IPC: C23C4/06

CPC classification number: C23C16/4411 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/463 ,  C23C16/466 ,  C23C16/52 ,  F28C3/005 ,  F28D1/0477 ,  F28D2021/0077 ,  F28F1/32 ,  G05D23/1927 ,  G05D23/193 ,  G05D23/1932 ,  G05D23/1934 ,  G05D23/22 ,  H01L21/67109

Abstract: 优选地，获得密封处理腔室(168)的内外热测量值允许控制系统(202)基于内外热测量值与预定值的比较来生成控制信号。向流体处置系统(216)提供控制信号，其中流体处置系统调制第一流体围绕密封处理腔室外部的流动。还向闭环热交换系统(220)提供控制信号，其中闭环热交换系统基于控制信号来调制在密封处理腔室的内腔内的第二流体的流动。还向开环热交换系统(218)提供控制信号，其中开环热交换系统调制密封处理腔室的内腔内的第三流体的流动。