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公开(公告)号：CN113874551A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202080037305.3
申请日：2020-07-09
Applicant: 昭和电工株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种可适用于半导体制造装置的构成部件且耐腐蚀性、特别是对酸和高温蒸汽的耐腐蚀性优异的金属材料。本发明涉及的层叠体具有金属基材、在所述金属基材上形成的含镍镀敷被膜层、以及在所述含镍镀敷被膜层上形成的镀金被膜层，并且，所述镀金被膜层的针孔被厚度为15nm以上的钝态被膜封孔。
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公开(公告)号：CN102460867A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026855.1
申请日：2010-06-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: C08G18/44 , B22F1/0055 , B22F1/0062 , B22F1/02 , C08G18/0823 , C08G18/12 , C08G18/6659 , C08G18/758 , C08G18/7671 , C08L75/04 , H01C17/0652 , H01C17/06553 , H01C17/06586 , C08G18/2825
Abstract: 本发明的课题是提供可以对各种设计的电子电路基板以自由的形状且简便地实现ESD对策，并且，放电时的工作性优异、能够小型化、低成本化的静电放电保护体，以及提供可以用于制造那样的静电放电保护体的放电间隙填充用组合物。作为解决问题的方法是，提供放电间隙填充用组合物以及使用该组合物而获得的一种静电放电保护体，所述放电间隙填充用组合物是包含金属粉末(A)和粘合剂成分(B)的组合物，其特征在于，上述金属粉末(A)中的一次粒子的表面被包含金属氧化物的膜覆盖，上述金属粉末(A)中的一次粒子的形状为薄片状。
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公开(公告)号：CN113874550A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202080037913.4
申请日：2020-08-11
Applicant: 昭和电工株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供一种可适用于半导体制造装置的构成部件且耐腐蚀性、特别是对酸的耐腐蚀性优异的金属材料。本发明涉及的层叠体具有金属基材、在所述金属基材上形成的第1含镍镀敷被膜层、在所述第1含镍镀敷被膜层形成的镀金被膜层、在所述镀金被膜层上形成的第2含镍镀敷被膜层、以及在所述第2含镍镀敷被膜层上形成的氟化镍被膜层。
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公开(公告)号：CN102460867B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201080026855.1
申请日：2010-06-15
Applicant: 昭和电工株式会社
CPC classification number: C08G18/44 , B22F1/0055 , B22F1/0062 , B22F1/02 , C08G18/0823 , C08G18/12 , C08G18/6659 , C08G18/758 , C08G18/7671 , C08L75/04 , H01C17/0652 , H01C17/06553 , H01C17/06586 , C08G18/2825
Abstract: 本发明提供可以对各种设计的电子电路基板以自由的形状且简便地实现ESD对策，并且，放电时的工作性优异、能够小型化、低成本化的静电放电保护体，以及提供可以用于制造那样的静电放电保护体的放电间隙填充用组合物。作为解决问题的方法是，提供放电间隙填充用组合物以及使用该组合物而获得的一种静电放电保护体，所述放电间隙填充用组合物是包含金属粉末(A)和粘合剂成分(B)的组合物，其特征在于，上述金属粉末(A)中的一次粒子的表面被包含金属氧化物的膜覆盖，上述金属粉末(A)中的一次粒子的形状为薄片状。
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