公开(公告)号：CN103562366A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201280022749.5

申请日：2012-05-24

Applicant: 旭硝子株式会社 ,  帕卡股份有限公司

Inventor： 榎本久男 ,  佐原幸治 ,  金子爱子 ,  石川智章 ,  横山哲史 ,  前柳佳孝 ,  田中明

IPC: C11D1/44 ,  B08B3/02 ,  B08B3/08 ,  C03C23/00 ,  C11D3/34 ,  C11D3/36 ,  C11D3/37 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1333

CPC classification number: C03C23/0075 ,  C11D1/44 ,  C11D3/1213 ,  C11D3/2082 ,  C11D3/3418 ,  C11D3/3454 ,  C11D3/362

Abstract: 本发明涉及清洗剂和玻璃基板的清洗方法。在不损害用含氧化铈的研磨剂研磨后的玻璃基板的平坦性的情况下，将残留、附着于表面上的研磨磨粒分散、除去。该清洗剂是用于对用含氧化铈的研磨剂研磨后的玻璃基板进行清洗的、包含(A)有机膦酸、(B)多元羧酸盐、(C)芳族磺酸和(D)胺－环氧烷加成物的水系清洗剂。玻璃基板的清洗方法包括：使用含有氧化铈的研磨剂对玻璃基板进行研磨的研磨工序，以及利用上述清洗剂对该研磨工序后的该玻璃基板进行清洗的清洗工序。

公开(公告)号：CN102446673A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201010502434.3

申请日：2010-09-30

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 田中明

IPC: H01J17/49 ,  G02F1/1333 ,  H01J17/04 ,  H01J31/12 ,  H01J29/10 ,  H01J9/20 ,  H01J11/34

Abstract: 本发明提供一种从吸附台剥离时不易产生剥离带电的显示器用玻璃基板及其制造方法。使用原子间力显微镜求出的一侧的面的平均表面粗糙度为0.8～2.0nm的显示器用玻璃基板及该显示器用玻璃基板的制造方法的特征在于，将包含液体及磨粒的研磨液与压缩空气一起从喷嘴(14)向玻璃基板(1)的一侧的面喷吹而进行粗糙化处理。