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公开(公告)号：CN101980980A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980112379.2
申请日：2009-03-30
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03B27/044 , C03B23/033
CPC classification number: C03B27/0404 , C03B23/0254 , C03B23/033 , C03B27/0417 , C03B27/0447 , C03B35/163 , C03B35/187 , C03B35/188 , C03B35/189
Abstract: 本发明提供能在不受辊之间的间距和辊直径影响的情况下对玻璃板整体均匀地进行风冷强化的玻璃板的风冷强化装置及风冷强化方法。构成风冷强化装置的辊的辊主体的结构如下所述：允许弯曲动作的导向轴贯穿多根环状辊，并且使邻接的环状辊彼此嵌合连结而形成转轴，将盘状辊固定于该环状辊，以规定的间隔配置成使得邻接的辊的盘状辊不在玻璃板的搬运方向上重叠。另一方面，喷口模块通过轴承以可相对于转轴自由旋转的方式设置在位于盘状辊之间的环状辊上。通过如上所述将环状辊连结而使导向轴弯曲，可使辊主体弯曲，从而在利用通过环状辊而旋转的盘状辊来搬运玻璃板的同时从喷口模块对该玻璃板喷射冷却空气来进行风冷强化。
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公开(公告)号：CN103649003B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280034422.X
申请日：2012-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C17/34
CPC classification number: C03C17/2456 , C03B25/08 , C03C17/002 , C23C16/45572 , C23C16/45595 , C23C16/46
Abstract: 将与玻璃带相对的各喷射器的相对面的面积S(m2)设定为满足S≤(0.0116×P×Cg×T)/{ε×F×σ(Tgla4?Tinj4)}。上式中，P为玻璃带的流量(吨/天)，Cg为玻璃的比热(J/(kg·℃))，T为从1个喷射器的入口到出口被冷却的玻璃带的允许下降温度(℃)，ε为辐射率，F为面对面的形状系数，σ为玻尔兹曼常数(5.67×10?8(W/m2·K4))，Tgla为使用以与K型热电偶接触的方式测定喷射器入口的玻璃带温度而得到的测定值Tin和以与K型热电偶接触的方式测定喷射器出口的玻璃带温度而得到的测定值Tout并用K＝(Tin+Tout)/2表示的玻璃带的温度(K)，Tinj为喷射器的相对面温度(K)。
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公开(公告)号：CN101980980B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN200980112379.2
申请日：2009-03-30
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03B27/044 , C03B23/033
CPC classification number: C03B27/0404 , C03B23/0254 , C03B23/033 , C03B27/0417 , C03B27/0447 , C03B35/163 , C03B35/187 , C03B35/188 , C03B35/189
Abstract: 本发明提供能在不受辊之间的间距和辊直径影响的情况下对玻璃板整体均匀地进行风冷强化的玻璃板的风冷强化装置及风冷强化方法。构成风冷强化装置的辊的辊主体的结构如下所述：允许弯曲动作的导向轴贯穿多根环状辊，并且使邻接的环状辊彼此嵌合连结而形成转轴，将盘状辊固定于该环状辊，以规定的间隔配置成使得邻接的辊的盘状辊不在玻璃板的搬运方向上重叠。另一方面，喷口模块通过轴承以可相对于转轴自由旋转的方式设置在位于盘状辊之间的环状辊上。通过如上所述将环状辊连结而使导向轴弯曲，可使辊主体弯曲，从而在利用通过环状辊而旋转的盘状辊来搬运玻璃板的同时从喷口模块对该玻璃板喷射冷却空气来进行风冷强化。
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公开(公告)号：CN107857479A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710859740.4
申请日：2017-09-21
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C15/00
CPC classification number: C03C15/00
Abstract: 本发明提供一种玻璃板。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且提高玻璃板的朝向判断性。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。利用作为反应气体的氟化氢气体对第2主表面(20)进行蚀刻并且利用滞留气体(G)对第1端面(30)也进行蚀刻。其结果，第1主表面(10)的第1表面粗糙度小于第2主表面(20)的第2表面粗糙度，第1端面(30)的第1碎玻璃剥离率大于第2端面(40)的第2碎玻璃剥离率，由此，防止吸附于载物台的第2主表面(20)的剥离带电，容易利用第1端面(30)的表面粗糙化判断玻璃板(1)的方向性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104936923A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201480004902.0
申请日：2014-01-08
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及一种带层积膜玻璃基板的制造方法，它是使用具备熔融玻璃原料的熔融炉、使熔融玻璃浮在熔融金属上而对玻璃带进行成形的浮法锡槽、和对所述玻璃带进行退火的退火炉的玻璃制造装置，通过CVD法用设置在所述退火炉内的多个喷射器在所述玻璃带上形成层积膜，将所述玻璃带切断的带层积膜玻璃基板的制造方法；其特征在于，上述层积膜由2层以上的层构成，上述玻璃基板的形变温度Ts(℃)在550℃以上，在将上述玻璃基板的玻璃化温度设为Tg(℃)时，所述层积膜在Tg以下形成，在形成上述层积膜的全部层的温度范围内的上述玻璃带的每单位长度的下降温度K1为0℃/m＜K1＜10℃/m。
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公开(公告)号：CN107857480A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710860184.2
申请日：2017-09-21
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C15/00 , G02F1/1333
CPC classification number: C03C15/00 , G02F1/1333 , G02F2001/133302
Abstract: 本发明提供玻璃板和玻璃板的制造方法。该玻璃板使成为吸附面的面粗糙化、且抑制反应气体对相反侧的半导体元件等的形成面的影响。玻璃板(1)包括第1主表面(10)、第2主表面(20)、第1端面(30)、第2端面(40)、第3端面(50)以及第4端面(60)。一边将玻璃板(1)在表面粗糙化装置(100)内输送一边使其第2主表面(20)被作为反应气体的氟化氢气体蚀刻，并尽量抑制反应气体对其他面的影响。特别是，第1主表面(10)的Al/Si的值大于第2主表面(20)的Al/Si的值，抑制Al自玻璃成分中被沥滤，使第1主表面(10)与形成于第1主表面(10)的半导体元件等的密合性良好。
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公开(公告)号：CN103649003A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280034422.X
申请日：2012-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C17/34
CPC classification number: C03C17/2456 , C03B25/08 , C03C17/002 , C23C16/45572 , C23C16/45595 , C23C16/46
Abstract: 将与玻璃带相对的各喷射器的相对面的面积S(m2)设定为满足S≤(0.0116×P×Cg×T)/{ε×F×σ(Tgla4-Tinj4)}。上式中，P为玻璃带的流量(吨/天)，Cg为玻璃的比热(J/(kg·℃))，T为从1个喷射器的入口到出口被冷却的玻璃带的允许下降温度(℃)，ε为辐射率，F为面对面的形状系数，σ为玻尔兹曼常数(5.67×10-8(W/m2·K4))，Tgla为使用以与K型热电偶接触的方式测定喷射器入口的玻璃带温度而得到的测定值Tin和以与K型热电偶接触的方式测定喷射器出口的玻璃带温度而得到的测定值Tout并用K＝(Tin+Tout)/2表示的玻璃带的温度(K)，Tinj为喷射器的相对面温度(K)。
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公开(公告)号：CN103649002A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280034404.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C17/34
CPC classification number: C03C17/3417 , C03C17/002 , C03C2218/1525 , C23C16/46 , C23C16/52 , C23C16/545
Abstract: 一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，通过CVD法利用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜，并将所述玻璃带切断，该制造方法中，层叠膜在Tg＋50℃以下形成，且层叠膜中至少2层以上的层在从Tg＋50℃到Tg的温度范围内形成。而且，形成层叠膜的全部层的温度范围内的玻璃带的每单位长度的下降温度K1为0℃/m＜K1＜10℃/m。
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公开(公告)号：CN103649000A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280034332.0
申请日：2012-07-12
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C03C17/245 , C03B25/08 , C03C17/34 , C23C16/40 , H01L31/049
CPC classification number: C03C17/2456 , C03B25/08 , C03C17/002 , C03C2218/1525 , C23C16/402 , C23C16/405 , C23C16/407 , C23C16/45578 , C23C16/46 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01L31/0392 , H01L31/1884 , Y02E10/50
Abstract: 一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，通过CVD法利用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜，该制造方法中，层叠膜在Tg+50℃以下形成，对于各喷射器，将该喷射器与玻璃带的交换热量设为Q1(kW)、将与该喷射器成对的加热器与玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时，关系式|Q1|-P×0.116≤|Q2|≤|Q1|成立。
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