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公开(公告)号:CN103802120A
公开(公告)日:2014-05-21
申请号:CN201310565625.8
申请日:2013-11-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B25J15/08
Abstract: 本发明涉及基板输送用机械手以及基板输送方法。该基板输送用机械手包括:平行配置的第1对基板支承构件;驱动部,使第1对基板支承构件向相互接近的方向和相互远离的方向平行移动;在与第1对基板支承构件的纵长方向垂直的方向上平行配置的第2对基板支承构件;平行连杆构件,连结第1对基板支承构件与第2对基板支承构件,并与第1对基板支承构件的接近/远离的方向的平行移动联动使第2对基板支承构件向接近/远离的方向平行移动;第1保持部,沿第1对基板支承构件的纵长方向设置多个,保持基板的下表面的缘部;和第2保持部,沿第2对基板支承构件的纵长方向设置多个,保持基板的下表面的缘部。
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公开(公告)号:CN104821293A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201510058084.9
申请日:2015-02-04
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B43/006 , H01L21/67092 , H01L21/7806
Abstract: 本发明涉及层叠体的剥离开始部制作方法和装置及电子器件制造方法。一种层叠体的剥离开始部制作方法,对于第1基板以能够剥离的方式粘贴于第2基板而形成的层叠体,将刀自上述层叠体的端面的至少一部分向上述第1基板和上述第2基板之间的界面插入预定量从而在上述界面制作剥离开始部,其中,向上述刀供给间隔物,通过将附着有上述间隔物的上述刀插入上述界面而制作上述剥离开始部。
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公开(公告)号:CN103223760A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201310032362.4
申请日:2013-01-28
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B32B37/00
Abstract: 本发明提供一种能够减少粘贴后的层叠板的缺陷、翘曲的粘贴装置及粘贴方法。该粘贴装置(10)用于粘贴板状构件(2)与挠性板(3),其中,具有:上工作台(20),其用于吸附板状构件(2);下工作台(40),其配置在上工作台(20)的下方,供挠性板(3)载置;旋转辊(50),其与由下工作台(40)支承的挠性板(3)的下表面相接触,利用自重使挠性板(3)挠曲变形;按压部(60),其经由旋转辊(50)将挠性板(3)按压于由上工作台(20)吸附的板状构件(2);以及移动机构(70),其使旋转辊(50)和按压部(60)相对于上工作台(20)相对移动。
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公开(公告)号:CN105084085B
公开(公告)日:2018-07-24
申请号:CN201510262932.8
申请日:2015-05-21
Applicant: 旭硝子株式会社
Abstract: 本发明涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。上述层叠体的剥离装置对于以能够剥离的方式粘贴第1基板和玻璃制的第2基板而成的一边的长度在600mm以上的矩形状的层叠体,通过沿着自上述第2基板的一端侧朝向另一端侧的剥离进行方向使上述第2基板挠曲,从而自上述第1基板剥离上述第2基板,该层叠体的剥离装置具有挠性构件,该挠性构件保持上述第2基板而使上述第2基板沿上述剥离进行方向挠曲,上述挠性构件具有主体部和多孔质构件,上述第2基板隔着上述多孔质构件被吸附并保持于上述主体部,上述多孔质构件为厚度在2mm以下的片状构件。
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公开(公告)号:CN107000953A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580068254.X
申请日:2015-12-07
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B32B43/006 , B32B7/06 , B32B38/10 , B32B2457/00 , G02F1/1303 , G02F1/1333 , G02F2001/13613 , G09F9/00 , H01L21/304 , Y10T156/1184 , Y10T156/1961 , Y10T156/1967
Abstract: 在层叠体的剥离开始部制作方法中,对于借助吸附层以能够剥离的方式将第1基板和第2基板粘贴而成的层叠体,将刀自层叠体的端面向第1基板与吸附层之间的界面插入预定量而在界面制作剥离开始部。刀包含主体部、与主体部连续且侧视时顶端变细的刀尖部以及主体部与刀尖部之间的交界即棱线,利用包含棱线在内的棱线部切削吸附层的至少一部分。
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公开(公告)号:CN103223760B
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201310032362.4
申请日:2013-01-28
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: B32B37/00
Abstract: 本发明提供一种能够减少粘贴后的层叠板的缺陷、翘曲的粘贴装置及粘贴方法。该粘贴装置(10)用于粘贴板状构件(2)与挠性板(3),其中,具有:上工作台(20),其用于吸附板状构件(2);下工作台(40),其配置在上工作台(20)的下方,供挠性板(3)载置;旋转辊(50),其与由下工作台(40)支承的挠性板(3)的下表面相接触,利用自重使挠性板(3)挠曲变形;按压部(60),其经由旋转辊(50)将挠性板(3)按压于由上工作台(20)吸附的板状构件(2);以及移动机构(70),其使旋转辊(50)和按压部(60)相对于上工作台(20)相对移动。
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公开(公告)号:CN105451937A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201480044682.4
申请日:2014-07-30
Applicant: 旭硝子株式会社
CPC classification number: B24B9/10 , B24D3/06 , B24D3/14 , B32B17/10036 , B32B17/10155
Abstract: 本发明涉及板状体的加工方法。该板状体的加工方法具有:磨削工序,利用含有金属的结合剂或陶瓷的结合剂的磨石对板状体的外周的至少一部分进行磨削;以及倒角工序,利用弹性磨石对上述板状体的利用上述磨石磨削后的部分进行倒角,上述磨石呈圆柱状或圆锥台状,在其外周具有用于对板状体进行磨削的磨粒面,在该磨粒面上不具有磨削槽。
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