公开(公告)号：CN106462069A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580022166.6

申请日：2015-04-22

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 川岛正行 ,  古川豊

IPC: G03F7/075 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22

Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物、光学元件的分隔壁以及光学元件，所述负型感光性树脂组合物能够在上表面以低曝光量形成具有充分拒墨性的拒墨层，能够用于即使经过亲墨化处理也能维持优异的拒墨性的分隔壁的制造，所述光学元件的分隔壁在上表面具有具备充分拒墨性的拒墨层、能形成微细且精度高的图案，即使经过亲墨化处理也能维持优异的拒墨性，所述光学元件具有在由分隔壁分隔成的开口部均匀地涂布墨而精度良好地形成的点。一种负型感光性树脂组合物，其包含：碱溶性树脂、交联剂、光产酸剂、以及拒墨剂，所述拒墨剂包含具有氟亚烷基和/或氟烷基且具有水解性基团的水解性硅烷化合物；使用该负型感光性树脂组合物形成的固化膜和分隔壁；及在基板表面具有多个点和位于相邻的点之间的前述分隔壁的光学元件。