公开(公告)号：CN100422853C

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN03107058.2

申请日：2003-03-03

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈田伸治 ,  川口泰秀 ,  武部洋子 ,  金子勇 ,  児玉俊一

IPC: G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  C08F214/18

CPC classification number: G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C)；含氟聚合物(A)：具有受保护的酸性基团的含氟聚合物，它具有式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和聚合式(2)的丙烯酸类单体形成的单体单元，当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时，它可通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到：CF2＝CR1-Q-CR2＝CH2(1)和CH2＝CR3-CO2R4(2)。R1、R2、R3、R1和Q的定义见说明书。

公开(公告)号：CN1442753A

公开(公告)日：2003-09-17

申请号：CN03107058.2

申请日：2003-03-03

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈田伸治 ,  川口泰秀 ,  武部洋子 ,  金子勇 ,  児玉俊一

IPC: G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  C08F214/18

CPC classification number: G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146

Abstract: 一种抗蚀剂组合物，它包括下列含氟聚合物(A)、在光照下产生酸的酸生成化合物(B)和有机溶剂(C)；含氟聚合物(A)：具有受保护的酸性基团的含氟聚合物，它具有式(1)的氟化二烯环化聚合形成的单体单元和聚合式(2)的丙烯酸类单体形成的单体单元，当通过聚合式(1)的氟化二烯和式(2)的丙烯酸类单体得到的共聚物没有受保护的酸性基团时，它可通过在共聚物中形成受保护的酸性基团来得到：CF2＝CR1－Q－CR2＝CH2(1)和CH2＝CR3－CO2R4(2)。R1、R2、R3、R1和Q的定义见说明书。