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公开(公告)号：CN1832952A
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN200480022864.8
申请日：2004-08-02
Applicant: 旭电化工业株式会社
Abstract: 本发明的稀土类金属络合物是以下述通式(I)表示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，其在耐热性和挥发性方面优异，是适用于薄膜形成用原料的液态稀土类金属络合物，式中，M表示稀土类金属原子。
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