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公开(公告)号:CN101278234B
公开(公告)日:2011-07-13
申请号:CN200680036814.4
申请日:2006-09-01
Applicant: 旭化成电子材料株式会社 , 株式会社PI技术研究所
IPC: G03F7/023 , G03F7/022 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/022 , G03F7/40
Abstract: 根据本发明,提供一种感光性树脂组合物,相对于100质量份缩聚物(A),其包含1~100质量份感光性重氮萘醌化合物(B),缩聚物(A)的重均分子量为3000~70000,该缩聚物(A)具有如下结构:1个或2个以上四羧酸二酐与1个或2个以上具有相互在邻位的氨基和酚羟基的芳香族二胺脱水缩合的结构。
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公开(公告)号:CN1980984B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200580022866.1
申请日:2005-07-11
Applicant: 旭化成电子材料株式会社
IPC: C08G73/14 , G03F7/027 , G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0757 , C08G73/14 , G03F7/0387 , G03F7/0388
Abstract: 本发明提供一种聚酰胺,所述聚酰胺具有由化学式(1)表示的结构。m和n是满足如下关系的整数,m≥1、n≥1、2≤(m+n)≤150以及0.3≤m/(m+n)≤0.9;R1和R2表示至少一个具有光聚合性不饱和键的1价有机基团;X1表示至少一个4价芳香族基团;X2表示至少一个3价芳香族基团;Y1和Y2表示至少一个2价有机基团;以及Z表示选自单取代的氨基和酰亚氨基的至少一个1价有机基团。
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