公开(公告)号：CN101809064A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200980100559.9

申请日：2009-06-05

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  金田隆行 ,  丹羽基博 ,  平田竜也 ,  本多正树

IPC: C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。

公开(公告)号：CN104641293A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201380048156.0

申请日：2013-09-13

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 本多正树 ,  金田隆行 ,  吉田雅彦 ,  汤之口智恵 ,  小仓知士

IPC: G03F7/023 ,  C08G8/20 ,  C08G69/26

CPC classification number: C08G8/20 ,  C08G8/12 ,  C08G8/22 ,  C08G8/24 ,  C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  C09D179/04 ,  C09D179/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/40 ,  C08L61/34 ,  C08L61/12 ,  C08L61/06

Abstract: 提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R1和R2分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R3、R4、R5以及R6分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。

公开(公告)号：CN101809064B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200980100559.9

申请日：2009-06-05

Applicant: 旭化成电子材料株式会社

Inventor： 木村正志 ,  金田隆行 ,  丹羽基博 ,  平田竜也 ,  本多正树

IPC: C08G69/26 ,  C08G73/22 ,  G03F7/027 ,  G03F7/075 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  G03F7/0387 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明提供一种感光特性优异、例如即使在200℃以下的加热固化条件下形成树脂膜时也能够赋予优异的膜特性的感光性树脂组合物、以及其中使用的聚酰胺树脂。本发明提供一种聚酰胺树脂，其含有下述式(1){式中，X是碳原子数为6～15的3价有机基团，m为0或2，m＝0时Y是碳原子数为6～35的2价有机基团，m＝2时Y是碳原子数为6～35的4价有机基团，R1是可以含有除碳以外的原子的、碳原子数为5～20的具有至少1个自由基聚合性的不饱和键基的脂肪族基团。}所表示的构成单元，使得重复数在2～150的范围内且该重复数在构成聚酰胺树脂的全部构成单元的总数的80～100％的范围内。