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发明公开
铁类合金箔及其制造方法、以及使用其的部件审中-实审

公开(公告)号：CN117337342A

公开(公告)日：2024-01-02

申请号：CN202280036097.4

申请日：2022-05-13

Applicant: 日铁化学材料株式会社

Inventor： 海野裕人 , 矢代笃士 , 大原浩明 , 泽田彩日 , 藤本直树 , 佐脇直哉

IPC: C22C38/00

Abstract: 本发明的课题在于，在供电子部件的高精度化的金属掩模所适用的厚度10～30μm的超薄铁类合金箔中，极力减少蚀刻不良或针孔的成因。为了解决上述技术问题，而制作如下的铁类合金箔：包含C：0.150％以下、Si：2.00％以下、Mn：10.00％以下、Ni：2.00～50.00％、Cr：19.00％以下、N：0.20％以下、Al：0.030％以下、Co：5.00％以下、Mg：0.0005％以下、Ca：0.0005％以下、Ti：0.01％以下、P：0.035％以下、S：0.0300％以下，剩余部分由Fe及杂质构成的组成；相对粒径2.00μm以上的夹杂物的总计质量，Al2O3：30质量％以下、MgO：15质量％以下；粒径2.00μm以上的夹杂物之中，粒径5.00μm以下的夹杂物的个数比例为80.00％以上。

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