公开(公告)号：CN101670629A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910165959.X

申请日：2009-08-20

Applicant: 日立电线株式会社

Inventor： 安藤拓司 ,  北野延明 ,  宮内昭浩 ,  鹫谷隆太 ,  大薗和正 ,  本乡晃史 ,  盐田恒夫

IPC: B29C33/42

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C35/0888 ,  B29C37/0053 ,  B29C2035/0827 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明的课题是提供一种在耐久性上表现出色的精细结构转印用压模。为此，本发明的特征是在用于使被形成在基体(102)的单面侧的精细图案(101)接触到被转印体，将上述精细图案(101)转印到上述被转印体表面的树脂层上的精细结构转印用压模(100)中，在上述基体(102)的表面和背面之中至少一面侧设置至少一层薄膜(103)，上述基体(102)和上述薄膜(103)的线膨胀系数不同，上述基体(102)借助于发生在上述薄膜(103)上的内部应力以精细图案(101)侧成为凸出的方式而弯曲。