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公开(公告)号:CN113597538B
公开(公告)日:2024-03-19
申请号:CN202080006415.3
申请日:2020-01-23
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明的物理量检测装置(20)具备板状的芯片封装件(208),所述板状的芯片封装件(208)从被测量气体的流路突出配置,具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度(W)。该芯片封装件(208)具有流量检测部(205)、增速流路(208c)、测量面(208a)、非测量面(208b)以及隔流部(208d)。增速流路(208c)的截面积缩窄,配置有流量检测部(205)。隔流部(208d)将第2副通道(234b)分隔为面对测量面(208a)的测量流路和面对非测量面(208b)的非测量流路。在芯片封装件(208)的宽度方向(Dw)上,增速流路(208c)的端部(208ce)与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。
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公开(公告)号:CN113597538A
公开(公告)日:2021-11-02
申请号:CN202080006415.3
申请日:2020-01-23
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明提供一种相较于以往而言能够提高流量检测部的噪声性能的物理量检测装置。本发明的物理量检测装置(20)具备板状的芯片封装件(208),所述板状的芯片封装件(208)从被测量气体的流路突出配置,具有沿着该被测量气体的流动方向的宽度(W)。该芯片封装件(208)具有流量检测部(205)、增速流路(208c)、测量面(208a)、非测量面(208b)以及隔流部(208d)。增速流路(208c)的截面积缩窄,配置有流量检测部(205)。隔流部(208d)将第2副通道(234b)分隔为面对测量面(208a)的测量流路和面对非测量面(208b)的非测量流路。在芯片封装件(208)的宽度方向(Dw)上,增速流路(208c)的端部(208ce)与隔流部(208d)的端部(208de)隔离开来。
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公开(公告)号:CN113924467B
公开(公告)日:2024-07-16
申请号:CN202080033556.4
申请日:2020-06-12
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
Abstract: 本发明的物理量检测装置,通过抑制副通路内的流动的偏倚并在通路内降低阻力,降低测量误差的发生。本发明的物理量检测装置(30)包括:配置在主通路内的测量部(310);从主通路取入被测量气体的副通路(330);将副通路的一部分在与通路宽度方向交叉的方向上分割为一方面侧和另一方面侧的2个流路的支承部件(603);和配置在支承部件的一方面的流量检测元件(602)。副通路具有配置有支承部件的直线部(321)和向直线部的通路宽度方向一方侧弯曲的下游弯曲部(322),在直线部设有将支承部件的另一方面侧的流路分割为通路宽度方向一方侧与另一方侧的2个流路的分割壁(500),通路宽度方向一方侧的流路的截面积比通路宽度方向另一方侧的流路的截面积小。
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公开(公告)号:CN113924467A
公开(公告)日:2022-01-11
申请号:CN202080033556.4
申请日:2020-06-12
Applicant: 日立安斯泰莫株式会社
Abstract: 本发明的物理量检测装置,通过抑制副通路内的流动的偏倚并在通路内降低阻力,降低测量误差的发生。本发明的物理量检测装置(30)包括:配置在主通路内的测量部(310);从主通路取入被测量气体的副通路(330);将副通路的一部分在与通路宽度方向交叉的方向上分割为一方面侧和另一方面侧的2个流路的支承部件(603);和配置在支承部件的一方面的流量检测元件(602)。副通路具有配置有支承部件的直线部(321)和向直线部的通路宽度方向一方侧弯曲的下游弯曲部(322),在直线部设有将支承部件的另一方面侧的流路分割为通路宽度方向一方侧与另一方侧的2个流路的分割壁(500),通路宽度方向一方侧的流路的截面积比通路宽度方向另一方侧的流路的截面积小。
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