负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法

    公开(公告)号:CN104597712A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201510087880.5

    申请日:2011-02-23

    CPC classification number: H01L21/02118 C08F277/00 G03F7/033 C08F222/1006

    Abstract: 本发明涉及负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。所述负型感光性树脂组合物含有:包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、(B)多官能性丙烯酸单体、和(C)光聚合引发剂,式中,R1、R2、R3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1~15的烷基、碳原子数为2~20的烯基、碳原子数为5~15的环烷基、碳原子数为6~20的芳基或碳原子数为1~20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2~20的烷氧基羰基、碳原子数为4~20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2~20的烷基羰氧基、碳原子数为3~20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基,并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。

Patent Agency Ranking