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公开(公告)号：CN102981357A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210325546.5
申请日：2012-09-05
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物、感光性元件及抗蚀剂图案的形成方法。该抗蚀剂图案的形成方法具备：在基板上形成含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物以及由下述通式(1)表示的光聚合引发剂的感光性树脂组合物层的工序；曝光工序，该工序在所述感光性树脂组合物层的至少一部分区域中，将在以碳弧灯、水银蒸气弧灯、超高压水银灯、高压水银灯或者氙灯作为光源的光中的波长为350nm以下的光的至少一部分被除去后的活性光线以图案状进行直接描绘，从而形成光固化部；和显影工序，该工序除去所述光固化部以外的区域。式(1)中，R1表示卤原子、氨基、羧基、烷基、烷氧基或者烷基氨基。m表示0~5的整数。
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公开(公告)号：CN102007451A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980113322.4
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂，其中，(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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公开(公告)号：CN101512437A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200780032798.6
申请日：2007-09-10
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C08F2/48 , C08F290/06 , C08F290/061 , C08F299/02 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有由右述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物。式(1)中，R1和R2分别独立地表示氢原子或甲基，L1和L2分别独立地表示碳原子数1～6的亚烷基，m和n分别独立地表示以m和n的总和为0～50的方式选择的0～50的整数。
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公开(公告)号：CN105425544A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201511030860.0
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂，其中，(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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公开(公告)号：CN103885290A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410111219.9
申请日：2006-10-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
Inventor： 味冈芳树
IPC: G03F7/027
CPC classification number: G03F7/027
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法，其中，本发明的感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、（B）具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，(B)成分含有下述通式（I）所示的化合物。【化1】，R1～R3各自独立地是下述通式(II)所示的基团或下述通式(III)所示的基团，R1～R3中的一个表示上述通式(III)所示的基团，【化2】，【化3】。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101512437B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200780032798.6
申请日：2007-09-10
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C08F2/48 , C08F290/06 , C08F290/061 , C08F299/02 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，该组合物为含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含具有由下述通式(1)表示的有机基团的光聚合性化合物。式(1)中，R1和R2分别独立地表示氢原子或甲基，L1和L2分别独立地表示碳原子数1～6的亚烷基，m和n分别独立地表示以m和n的总和为0～50的方式选择的0～50的整数。
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公开(公告)号：CN101185028A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200680019019.4
申请日：2006-05-15
Applicant: 日立化成工业株式会社 , 罗地亚日华股份有限公司
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物，含有：(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有至少1个可聚合的乙烯性不饱和基的光聚合性化合物、以及(C)光聚合引发剂，其特征是，作为上述(A)成分，包含含有下述通式(I)所示的化合物作为聚合成分的聚合物，CH2＝C(L1)－COOL2...(I)，式(I)中，L1表示氢原子或甲基，L2表示碳原子数2～20的烷基；作为上述(B)成分，含有上述通式(II)所示的化合物，式(II)中，R1表示氢原子或甲基，R2表示具有2个以上的3级以上的碳原子的碳原子数3～20的烷基，X表示碳原子数2～6的亚烷基，n表示1～20的整数。
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公开(公告)号：CN103885292A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201410111185.3
申请日：2006-10-20
Applicant: 日立化成工业株式会社
Inventor： 味冈芳树
CPC classification number: G03F7/027
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷电路板的制造方法，其中，本发明的感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、（B）具有乙烯性不饱和基团的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，(B)成分含有下述通式（I）所示的化合物。【化1】（R1～R3各自独立地是下述通式(II)所示的基团或下述通式(III)所示的基团，R1～R3中的一个表示上述通式(III)所示的基团，【化2】【化3】
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公开(公告)号：CN103792788A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201310752058.7
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有（A）粘合剂聚合物、（B）分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、（C）光聚合引发剂及（D）阻聚剂，其中，（D）阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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公开(公告)号：CN102754032A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201080063100.9
申请日：2010-12-14
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有（A）粘合剂聚合物、（B）光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，（B）光聚合性化合物含有下述通式（I）所示的化合物，所述感光性树脂组合物在利用直接描绘法的抗蚀图形的形成中使用。（式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或甲基，n表示0～50的整数）。
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