光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂和固化物

    公开(公告)号:CN117222944A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202280026236.5

    申请日:2022-03-15

    Abstract: 本发明提供光致抗蚀剂用树脂,其为单体(A)、具有羧基的单体(B)和其它可共聚单体(C)的共聚物,其中,所述单体(A)为特定的聚亚烷基二醇单(甲基)丙烯酸酯,相对于前述单体(A)的结构单元、前述单体(B)的结构单元和前述单体(C)的结构单元的合计100摩尔,前述单体(A)的结构单元的量为0.5~15摩尔,前述单体(B)的结构单元的量为5~35摩尔,且前述单体(C)的结构单元的量为50~94.5摩尔。

    分散剂
    5.
    发明公开
    分散剂 审中-实审

    公开(公告)号:CN117136226A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202280028557.9

    申请日:2022-03-15

    Abstract: 本发明提供分散剂,其为(a)聚亚烷基二醇单(甲基)丙烯酸酯与(b)能够与前述聚亚烷基二醇单(甲基)丙烯酸酯聚合的单体的共聚物,所述(a)聚亚烷基二醇单(甲基)丙烯酸酯用式(1):CH2=CR‑COO‑(AO)n‑H表示,且由通过凝胶渗透色谱测定而求出的色谱图算出的wb与wf的比率wb/wf满足式(2):0.25≤wb/wf≤0.90的关系(式(1)和(2)中的符号定义如说明书中记载的那样),前述共聚物中的前述聚亚烷基二醇单(甲基)丙烯酸酯与前述单体的摩尔比为30:70~90:10。

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