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公开(公告)号：CN118715338A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202380022397.1
申请日：2023-02-10
Applicant: 日本轻金属株式会社
IPC: C23C16/40 , C04B35/505 , C23C16/46 , H01L21/3065
Abstract: 提供一种耐腐蚀性部件的制造方法以及用于得到该耐腐蚀性部件的激光CVD装置，该耐腐蚀性部件的制造方法能够在使用铝或铝合金作为基材的同时以防止因激光照射而发生燃烧的方式形成氧化铝被膜。一种耐腐蚀性部件的制造方法，其具备通过一边对由铝或铝合金构成的基材喷吹含钇的原料气体一边照射激光以在所述基材的表面形成氧化钇被膜的被膜形成工序，其中，激光为脉冲波，在成膜时的基材温度为300℃～600℃的条件下形成氧化钇被膜；以及该方法所使用的激光CVD装置。
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