公开(公告)号：CN1387236A

公开(公告)日：2002-12-25

申请号：CN02120051.3

申请日：2002-05-17

Applicant: 日本网目版制造株式会社 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 沟端一国雄 ,  村冈祐介 ,  斉藤公続 ,  北门龙治 ,  井上阳一 ,  坂下由彦 ,  渡邉克充 ,  山形昌弘

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/461 ,  B08B3/00

CPC classification number: B08B9/0321 ,  B08B7/0021 ,  Y10S134/902

Abstract: 当基板清洗腔5的盖子打开,在腔中放置基板时,阀门V1,V2,V3,V4,和V6都关闭,只有阀门V5打开。于是,向基板清洗腔5提供气体CO2以防止环境空气成分进入腔及进行腔的净化。随着基板清洗腔5的盖子关闭,阀门V6继续关闭以形成基板清洗腔的5的排出管线。于是,在基板清洗腔5和导管中的气体残余受到CO2气体的排斥而进入环境空气中,从而进行了腔的净化而防止了任何不需要的环境空气成分的滞留。随后,使用超临界CO2清洗基板。当清洁循环线时,向循环线提供超临界CO2。超临界CO2流向基板清洗腔5。在流过包括循环管道11的所有循环线之后,超临界CO2通过旁路管道12流向减压器7。滞留在循环线中的任何化学试剂或有机物质与超临界CO2流体一起连续地流入到减压器8。

公开(公告)号：CN1212648C

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN02120051.3

申请日：2002-05-17

Applicant: 日本网目版制造株式会社 ,  株式会社神户制钢所

Inventor： 沟端一国雄 ,  村冈祐介 ,  斉藤公続 ,  北门龙治 ,  井上阳一 ,  坂下由彦 ,  渡邉克充 ,  山形昌弘

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/461 ,  B08B3/00

CPC classification number: B08B9/0321 ,  B08B7/0021 ,  Y10S134/902

Abstract: 当基板清洗腔(5)的盖子打开，在腔中放置基板时，阀门V1，V2，V3，V4，和V6都关闭，只有阀门V5打开。于是，向基板清洗腔(5)提供气体CO2以防止环境空气成分进入腔及进行腔的净化。随着基板清洗腔(5)的盖子关闭，阀门V6打开以形成基板清洗腔(5)的排出管线。于是，在基板清洗腔(5)和导管中的气体残余受到CO2气体的排斥而进入环境空气中，从而进行了腔的净化而防止了任何不需要的环境空气成分的滞留。随后，使用超临界CO2清洗基板。当清洁循环线时，向循环线提供超临界CO2。超临界CO2流向基板清洗腔(5)。在流过包括循环管道(11)的所有循环线之后，超临界CO2通过旁路管道(12)流向减压器(7)。滞留在循环线中的任何化学试剂或有机物质与超临界CO2流体一起连续地流入到分离/回收槽(8)。