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公开(公告)号：CN1435732A
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN03104302.X
申请日：2003-01-31
Applicant: 日本网目版制造株式会社
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B7/1666 , B05B12/1472 , B05C5/001 , H01L21/67051
Abstract: 本发明公开了一种化学处理装置，该装置用于通过向基板的主表面运送处理溶液而对其进行预定处理。该装置包括一个用于向基板的主表面运送处理溶液的处理溶液运送喷嘴。该喷嘴具有一个与其尖端相邻用于贮存处理溶液的处理溶液容器。一温度控制装置保持住温度溶液容器，从而通过与处理溶液的热交换来控制处理溶液容器中的处理溶液的温度。
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