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公开(公告)号:CN104422277A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201410419111.6
申请日:2014-08-22
Applicant: 日本碍子株式会社 , NGK凯伦泰克株式会社
Abstract: 本发明的热处理炉(10)具备:炉体(11);第一搬运路(30),其用于在外部和炉体(11)之间搬运载置有被处理物(96)的承烧板(95);气体供应装置(22),其向炉体(11)内部供应惰性气体;加热器(20),其用于使炉体(11)内部温度高于外气温度;上方空间形成部(60),其设置在第一搬运路(30)的铅垂上侧,并形成有在铅垂下侧形成开口且与第一搬运路(30)内连通的上方空间(63);下方空间形成部(70),其设置在第一搬运路(30)的铅垂下侧,并形成有在铅垂上侧形成开口且与第一搬运路(30)内连通的下方空间(73);及吸引装置(77),其用于吸引下方空间(73)。
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公开(公告)号:CN104422277B
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201410419111.6
申请日:2014-08-22
Applicant: 日本碍子株式会社 , NGK凯伦泰克株式会社
Abstract: 本发明的热处理炉(10)具备:炉体(11);第一搬运路(30),其用于在外部和炉体(11)之间搬运载置有被处理物(96)的承烧板(95);气体供应装置(22),其向炉体(11)内部供应惰性气体;加热器(20),其用于使炉体(11)内部温度高于外气温度;上方空间形成部(60),其设置在第一搬运路(30)的铅垂上侧,并形成有在铅垂下侧形成开口且与第一搬运路(30)内连通的上方空间(63);下方空间形成部(70),其设置在第一搬运路(30)的铅垂下侧,并形成有在铅垂上侧形成开口且与第一搬运路(30)内连通的下方空间(73);及吸引装置(77),其用于吸引下方空间(73)。
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