压电薄膜元件
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1170990A

    公开(公告)日:1998-01-21

    申请号:CN97113029.9

    申请日:1997-05-26

    CPC classification number: H01L41/0973 H01L41/047

    Abstract: 压电薄膜型元件包括接续地整体设在堆在陶瓷基片(12)上构成的压电工作层,一个单一的平薄膜型下电极(16),一压电层(18)和包括多个交替设置的条形电极(20a,20b)上的电极(20)。下电极(16)为第一电极,上电极(20)为第二电极。第一、二电极及压电层(18)构成第一压电工作装置,而第二电极及压电层(18)构成第二压电工作装置。上述压电工作层上没堆着其它的压电层。这样压电薄膜型元件可充分利用压电工作段的工作性能,作用好,尺寸紧凑及可在低电压下工作。

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