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公开(公告)号：CN118476156A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202280085524.8
申请日：2022-08-05
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 提供一种耐久性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板的制造方法包括：在具有彼此对置的上表面和下表面且在所述下表面设置有电极的压电基板的所述下表面侧形成第一层；通过平坦化处理，使所述第一层的表面起伏超过2nm且为70nm以下；以及在形成有所述第一层的所述压电基板的所述第一层侧接合支撑基板。
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